德PI六腳架產(chǎn)品介紹

六腳架在緊湊的包裝中提供六個(gè)自由度的運(yùn)動(dòng)。PI六腳架與測(cè)量傳感器，軟件和運(yùn)動(dòng)控制器相結(jié)合，使復(fù)雜的運(yùn)動(dòng)曲線易于控制，可滿足工業(yè)要求?？梢云ヅ渌序?qū)動(dòng)器類型，以滿足各個(gè)應(yīng)用程序的條件。

標(biāo)準(zhǔn)六足動(dòng)物的的產(chǎn)品范圍包括用于射線線實(shí)驗(yàn)中的樣品定位的微型版本，用于光纖對(duì)準(zhǔn)的高分辨率動(dòng)態(tài)定位器，以及用于工業(yè)生產(chǎn)過程的設(shè)備，在這些設(shè)備中六足動(dòng)物以亞微米精度定位高負(fù)載。

運(yùn)動(dòng)六腳架提供了更多的動(dòng)態(tài)運(yùn)動(dòng)，并且設(shè)計(jì)成可以高精度地遵循預(yù)定義的軌跡，例如在相機(jī)測(cè)試臺(tái)上。

六模擬工具
平行運(yùn)動(dòng)學(xué)的工作空間制會(huì)根據(jù)當(dāng)前位置（平移和旋轉(zhuǎn)坐標(biāo)），樞軸點(diǎn)的當(dāng)前坐標(biāo)以及所選坐標(biāo)系而變化。

六腳架負(fù)載的值也隨許多因素而變化：

六腳架的方向
質(zhì)心的負(fù)載和位置
運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的位置（平移和旋轉(zhuǎn)坐標(biāo)）以及
作用在六腳架運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上的力和扭矩。

PI六腳架仿真工具可以輕松地仿真并以圖形方式表示所有這些影響因素。因此，可以在設(shè)置應(yīng)用程序之前識(shí)別任何機(jī)械問題。

PI是運(yùn)動(dòng)和定位域解決方案的先供應(yīng)商。
PI（Physik Instrumente）位移平臺(tái)
在過去的四十年中，PI（Physik Instrumente）已發(fā)展成為納米定位技術(shù)的制造商。創(chuàng)業(yè)行為的關(guān)鍵要素和動(dòng)機(jī)始終保持不變：為客戶找到佳解決方案。PI（Physik Instrumente）位移平臺(tái)以其產(chǎn)品質(zhì)量而聞名，多年來直是精密定位技術(shù)市場的者之。重要的組成部分之是PI家族內(nèi)部的團(tuán)隊(duì)精神，其基礎(chǔ)是超越邊界和功能制的相互理解和支持。

PI是家擁有健康增長的私營公司，在擁有1000多名員工，并且是個(gè)靈活的垂直整合的組織，這使PI（Physik Instrumente）位移平臺(tái)能夠滿足創(chuàng)新型精密定位技術(shù)域的幾乎所有要求。PI的要任務(wù)是成為客戶的可靠且高質(zhì)量的合作伙伴。

德Physik Instrumente (PI)系列介紹：

1. 德PI XY位移平臺(tái)

高精度的2軸納米定位系統(tǒng)集成了PICMA®壓電執(zhí)行器，以實(shí)現(xiàn)大的可靠性。通過使用高質(zhì)量的納米計(jì)量傳感器，可以實(shí)現(xiàn)具有佳穩(wěn)定性的可重復(fù)，無漂移的定位

用于小負(fù)載的2軸壓電掃描儀經(jīng)常用于掃描和跟蹤過程。它們的快速步進(jìn)運(yùn)動(dòng)提高了光學(xué)系統(tǒng)的分辨率。這些包括相機(jī)技術(shù)中的成像過程和圖像識(shí)別，例如用于生物識(shí)別或文檔存檔。

型號(hào)介紹：

緊湊型XY壓電位移臺(tái)

德PI XY位移平臺(tái)P-611.XZ•P-611.2 XZ和XYZ納米定位器：用于納米定位的緊湊型兩軸壓電系統(tǒng)

德PI XY位移平臺(tái)P-620.2 – P-629.2 PIHera XY壓電平臺(tái)：行程范圍可變的高精度XY納米定位器

XY壓電撓性位移臺(tái)

德PI XY位移平臺(tái)P-612.2 XY壓電納米定位系統(tǒng)：緊湊，帶光圈

P-541.2•P-542.2 XY壓電平臺(tái)：大口徑薄型XY納米定位系統(tǒng)

P-733.2 XY壓電納米定位器：高精度XY光圈掃描儀

P-734 XY壓電掃描儀：具有小跳動(dòng)和清晰光圈的高動(dòng)力系統(tǒng)

P-763緊湊型XY納米定位系統(tǒng)：光圈清晰低剖面，經(jīng)濟(jì)高效的壓電掃描儀，用于生物識(shí)別：CCD芯片可在兩個(gè)軸上動(dòng)態(tài)移動(dòng)，以提高像素分辨率

P-713 XY壓電掃描儀：具有成本效益的低矮OEM系統(tǒng)

P-545.xR8SPInano®XY（Z）壓電系統(tǒng)：用于高分辨率顯微鏡的廉價(jià)納米定位系統(tǒng)

P-545.xC8SPInano®Cap XY（Z）壓電系統(tǒng)：電容位置測(cè)量，用于超高分辨率顯微鏡

P-545.3D8SPInano®Trak壓電跟蹤系統(tǒng)：快速XY（Z）平臺(tái)用于高動(dòng)態(tài)顯微鏡

2.德PI XYZ壓電彎曲掃描儀

PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護(hù)它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。事實(shí)證明，沒有單故障的1000億次循環(huán)。

零游隙撓性軌，向精度高

撓性板無維護(hù)，無摩擦和無磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力，并且沖擊和振動(dòng)不敏感。它們是100真空兼容的，并且可以在寬溫度范圍內(nèi)工作。

平行位置測(cè)量，在納米范圍內(nèi)具有很高的跟蹤精度

所有的自由度均以單個(gè)固定參考為參考。可以實(shí)時(shí)地（取決于帶寬）主動(dòng)補(bǔ)償與另軸發(fā)生的不必要的運(yùn)動(dòng)串?dāng)_（主動(dòng)引）。即使在動(dòng)態(tài)操作中，也可以在納米范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高跟蹤精度。

型號(hào)介紹：

德PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-733.3 XYZ壓電納米定位器：高精度XYZ光圈掃描儀

德PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-616NanoCube®納米定位器：緊湊的并聯(lián)運(yùn)動(dòng)壓電系統(tǒng)，用于納米定位和光纖對(duì)準(zhǔn)

德PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-611.3NanoCube®XYZ壓電系統(tǒng)：緊湊的多軸壓電系統(tǒng)，用于納米定位和光纖對(duì)準(zhǔn)

德PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-561•P-562•P-563 PIMars納米定位臺(tái)：高精度納米定位器，多可容納3個(gè)軸

德PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-517•P-527多軸壓電掃描儀：高動(dòng)態(tài)納米定位儀/掃描儀，具有直接位置測(cè)量功能

用于顯微鏡的壓電撓曲XYZ掃描儀

德PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-545.xR8SPInano®XY（Z）壓電系統(tǒng)：用于高分辨率顯微鏡的廉價(jià)納米定位系統(tǒng)

德PI P-545.xC8SPInano®Cap XY（Z）壓電系統(tǒng)：電容位置測(cè)量，用于超高分辨率顯微鏡

德PI P-545.3D8SPInano®Trak壓電跟蹤系統(tǒng)：快速XY（Z）平臺(tái)用于高動(dòng)態(tài)顯微鏡

緊湊型精密XYZ納米掃描儀

德PI P-363 PicoCube XY（Z）壓電掃描儀：高動(dòng)態(tài)納米定位系統(tǒng)，用于掃描探針顯微鏡

德PI P-313 PicoCube XY（Z）壓電掃描儀：皮克計(jì)精度高帶寬，用于掃描探針顯微鏡

3.德PI 線性壓電撓性位移臺(tái)

PI的納米定位平臺(tái)和掃描儀將納米精度的分辨率和引精度與小的串?dāng)_相結(jié)合。這使得它們特別適合于計(jì)量，微觀過程，干涉測(cè)量或半體芯片生產(chǎn)檢查系統(tǒng)中的參考應(yīng)用。

帶有PICMA®壓電執(zhí)行器驅(qū)動(dòng)器和撓性軌的線性壓電平臺(tái)可用于大1.5 mm的行程。

型號(hào)介紹：

壓電撓性線性平臺(tái)

德PI P-630高動(dòng)態(tài)壓電納米定位系統(tǒng)：1軸大孔徑

德PI P-753 LISA線性執(zhí)行器和平臺(tái)：動(dòng)態(tài)穩(wěn)定

德PI P-752高精度納米定位臺(tái)：高動(dòng)態(tài)和穩(wěn)定的壓電掃描儀，具有其精確德PI的引

德PI P-750壓電納米定位系統(tǒng)：具有直接計(jì)量功能的高負(fù)載壓電驅(qū)動(dòng)納米定位系統(tǒng)

德PI P-611.1線性壓電定位系統(tǒng)：廉價(jià)，緊湊的線性定位系統(tǒng)

德PI P-712線性壓電掃描儀：緊湊型OEM系統(tǒng)

德PI P-620.1 – P-629.1 PIHera壓電線性精密定位器：可變行程范圍和軸配置

德PI壓電撓性垂直平臺(tái)

德PI P-620.Z-P-622.Z PIHera垂直精密Z定位器：可變行程范圍和軸配置

德PI S-303壓電移相器：高動(dòng)態(tài)，納米精密壓電移相器

德PI P-733.Z高動(dòng)態(tài)Z納米定位儀/掃描儀：直接位置測(cè)量和通光孔徑

德PI P-612.Z壓電Z舞臺(tái)：帶孔的緊湊型納米定位器

德PI P-611.Z壓電Z舞臺(tái)：緊湊型納米定位器

特色定制

德PI PI P-725KHDS

德PI P-725KHDSPIFOC®高動(dòng)態(tài)物鏡掃描儀：重型物鏡的納米分辨率

德PI 4.PI 微型六足動(dòng)物

4，德PI 微型六足動(dòng)物

德PI Q-Motion®壓電位移臺(tái)內(nèi)置了小的6自由度運(yùn)動(dòng)設(shè)備，也提供手掌大小的BLDC電機(jī)六足位移臺(tái)。

使用的運(yùn)動(dòng)設(shè)計(jì)取決于應(yīng)用中單個(gè)軸上運(yùn)動(dòng)的重要性。經(jīng)典的平行運(yùn)動(dòng)六腳架設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)佳的整體性能均勻性。當(dāng)需要相對(duì)較大的線性運(yùn)動(dòng)時(shí)，好采用薄型設(shè)計(jì)。

好使用采用PI的利PICMA®或PiezoWalk®驅(qū)動(dòng)技術(shù)的六腳架提供超高真空和非磁性環(huán)境。

德PI 微型六足動(dòng)物H-811.I2 / I2V 6軸微型六腳架：快速，緊湊，高精度

德PI 微型六足動(dòng)物H-811.F2 6軸微型六腳架：光纖對(duì)準(zhǔn)的理想選擇

德PI H-811.S2 6軸運(yùn)動(dòng)六腳架：快速而緊湊的高動(dòng)態(tài)應(yīng)用

德PI H-810 6軸微型六腳架：小空間內(nèi)的高精度

德PI P-911KNMV超高壓兼容的微型壓電六腳架：即使在強(qiáng)磁場中也能進(jìn)行高精度定位

德PI 5.PI 微型線性平臺(tái)

5，德PI 微型線性平臺(tái)

微型階段對(duì)于在可用空間有的定位任務(wù)中關(guān)重要。諸如Q-motion®，PIline®和PiezoWalk®之類的壓電電機(jī)解決方案由于具有直接驅(qū)動(dòng)原理，因此可實(shí)現(xiàn)緊湊的平臺(tái)。

型號(hào)介紹：

德PI帶有Q-Motion®，PILine®和PiezoWalk®驅(qū)動(dòng)器的微型平臺(tái)

德PI 微型線性平臺(tái)U-523PILine®線性平臺(tái)：帶有超聲波壓電電機(jī)的緊湊型線性平臺(tái)

德PI 微型線性平臺(tái)Q-521 Q?Motion®微型線性平臺(tái)：具有位置控制，高分辨率和價(jià)格合理的小線性平臺(tái)

德PI PI N-565 1200精度高的N-565線性平臺(tái)：具有亞納米編碼器分辨率的NEXACT®壓電步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器

德PI U-521PILine®線性平臺(tái)：帶有超聲波壓電電機(jī)的緊湊型線性平臺(tái)

德PI Q-545 Q Motion®精密線性平臺(tái)：壓電馬達(dá)帶來的高力和小設(shè)計(jì)，帶有PIMag®VC VoiceCoil和三相直線電機(jī)，步進(jìn)，直流和無刷直流電機(jī)的微型平臺(tái)

德PI M-110•M-111•M-112緊湊型線性平臺(tái)：XY（Z）組合，具有各種驅(qū)動(dòng)器和行程范圍

德PI L-306緊湊型精密Z工作臺(tái)：緊湊設(shè)計(jì)，多軸組合

德PI L-505緊湊型線性平臺(tái)：帶直流或步進(jìn)電機(jī)

德PI V-408PIMag®線性平臺(tái)：便宜，帶直線電機(jī)

德PI V-508PIMag®精密線性平臺(tái)：多種選項(xiàng)可適應(yīng)需求

德PI L-402微型線性平臺(tái)：帶直流或步進(jìn)電機(jī)

德PI A-141 PIglide MB微型線性平臺(tái)，帶空氣軸承：高性能，無塵室兼容，可定制

德PI V-522•V-524•V-528高性能PIMag®線性平臺(tái)：帶直接位置測(cè)量的音圈直接驅(qū)動(dòng)

德PI M-122.2DD1微翻譯平臺(tái)：具有直接位置測(cè)量功能的緊湊型線性平臺(tái)

德PI M-105微翻譯平臺(tái)：精密交叉滾子軌，PiezoMike選件，XY（Z）組合

德PI MTS-65微型線性平臺(tái)：工業(yè)用途的堅(jiān)固設(shè)計(jì)

德PI L-406緊湊型線性平臺(tái)：對(duì)于10公斤的負(fù)載

6.德PI 微型旋轉(zhuǎn)臺(tái)

帶有壓電馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)使尺寸特別緊湊。

顯微鏡的許多應(yīng)用要求自由光通過。這些緊湊的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)還可以用于光學(xué)應(yīng)用中，在這些應(yīng)用中，它們可以可靠地定位濾光片，并具有的可重復(fù)性。

旋轉(zhuǎn)平臺(tái)可以安裝在沒有適配器的線性平臺(tái)上，并且可以靈活組合多軸定位系統(tǒng)。

德PI 帶有Q-Motion和PILine®驅(qū)動(dòng)器的微型旋轉(zhuǎn)臺(tái)

德PI U-622PILine®旋轉(zhuǎn)平臺(tái)：超聲波壓電馬達(dá)微型載物臺(tái) ，具有薄型設(shè)計(jì)的U-651旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，快速PILine®直接驅(qū)動(dòng)和開口

德PI U-624PILine®旋轉(zhuǎn)平臺(tái)：超聲波壓電馬達(dá)微型載物臺(tái)

德PI Q-632 Q Motion®旋轉(zhuǎn)臺(tái)：緊湊型壓電電機(jī)：轉(zhuǎn)臺(tái)直徑30 mm，帶有步進(jìn)，直流和無刷直流（BLDC）電機(jī)的微型旋轉(zhuǎn)臺(tái)

德PI 微型旋轉(zhuǎn)臺(tái)V-611PIMag®旋轉(zhuǎn)平臺(tái)：高扭矩的扁平設(shè)計(jì)，大承重2 kg

德PI RS-40緊湊型旋轉(zhuǎn)臺(tái)：精確定位

德PI 微型旋轉(zhuǎn)臺(tái)V-610緊湊型PIMag®旋轉(zhuǎn)臺(tái)：緊湊，適用于M-110的多軸組合

德PI DT-80緊湊型旋轉(zhuǎn)臺(tái)：大光圈

德PI DT-34微型旋轉(zhuǎn)臺(tái)：尺寸緊湊，帶直流或步進(jìn)電機(jī)

7.德PI 空氣軸承和位移臺(tái)

空氣軸承臺(tái)用于需要無振動(dòng)運(yùn)動(dòng)，速度高度恒定且要求佳角度重復(fù)性的場合。

空氣軸承避免了摩擦，磨損和間隙效應(yīng)。PIglide線性，旋轉(zhuǎn)和球面軸承是精密組件，可以集成和電動(dòng)化用于OEM，工業(yè)和研究市場。

型號(hào)介紹：

帶空氣軸承的線性平臺(tái)

德PI 空氣軸承和位移臺(tái)A-131 PIglide VC音圈線性平臺(tái)，帶空氣軸承：高性能微型納米定位系統(tǒng)

德PI 空氣軸承和位移臺(tái)A-110 PIglide LC線性平臺(tái)，帶空氣軸承：廉價(jià)的高性能納米定位臺(tái)

德PI 空氣軸承和位移臺(tái)A-141 PIglide MB微型線性平臺(tái)，帶空氣軸承：高性能，無塵室兼容，可定制

德PI  A-123 PIglide AT3線性平臺(tái)，帶空氣軸承：高性能納米定位臺(tái)

德PI A-121 PIglide AT1線性平臺(tái)，帶空氣軸承：高性能小尺寸納米定位臺(tái)

帶空氣軸承的XY位移臺(tái)

德PI A-351帶直線電機(jī)的MGS龍門系統(tǒng)：堅(jiān)固的緊湊型設(shè)計(jì)，帶循環(huán)滾珠軸承軌，可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力。

德PI A-341 PIglide HGS混合龍門系統(tǒng)：帶有空氣軸承和循軸承軌的混合軌設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)高精度，薄型化。

德PI A-322 PIglide HS平面掃描儀，帶空氣軸承：XY定位系統(tǒng)，分辨率為1 nm

德PI  A-311 PIglide IS平面掃描儀，帶空氣軸承：高性能，緊湊型XY納米定位系統(tǒng)

空氣軸承旋轉(zhuǎn)臺(tái)

德PI A-63x PIglide RL帶有空氣軸承的平面旋轉(zhuǎn)平臺(tái)：無摩擦，電動(dòng)

德PI A-62x PIglide RM旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，帶空氣軸承：無摩擦，是分度，定位，掃描，測(cè)量技術(shù)的理想選擇

德PI PIglide運(yùn)動(dòng)控制器

德PI A-81x PIglide運(yùn)動(dòng)控制器：用于1、2或4個(gè)軸

德PI A-60x PIglide RT旋轉(zhuǎn)空氣軸承模塊：無摩擦，非電動(dòng)

德PI A-10x PIglide RB線性空氣軸承模塊：無摩擦，適合定位，掃描和計(jì)量

德PI A-65x PIglide HB：半球形空氣軸承：無摩擦，是三軸旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的理想選擇

PI（Physik Instrumente）位移平臺(tái)不僅針對(duì)線性，旋轉(zhuǎn)和垂直運(yùn)動(dòng)或不同軸的組合開發(fā)和生產(chǎn)各種定位平臺(tái)和執(zhí)行器。PI還使這些解決方案適應(yīng)客戶特定的應(yīng)用，或提供用于運(yùn)動(dòng)和定位的成品子系統(tǒng)。

該控件是重要的系統(tǒng)組件，也由PI提供。這不僅提供了復(fù)雜的控制概念，還為應(yīng)用程序環(huán)境提供了硬件和軟件接口。

PI（Physik Instrumente）位移平臺(tái)無論是標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品還是全新開發(fā)產(chǎn)品，無論是OEM驅(qū)動(dòng)器還是集成系統(tǒng)，目標(biāo)始終是為每種可能的應(yīng)用提供佳解決方案。

PI（Physik Instrumente）應(yīng)用域：
現(xiàn)在，在許多應(yīng)用域中達(dá)到大定位精度。半體制造，顯微鏡，表面測(cè)量技術(shù)，生物技術(shù)，醫(yī)學(xué)工程和自動(dòng)化技術(shù)通常需要具有納米分辨率和可重復(fù)性的定位系統(tǒng)。除此之外，還要求響應(yīng)時(shí)間短，真空兼容的設(shè)計(jì)和在寬溫度范圍內(nèi)的功能。

六腳架支持工業(yè)機(jī)器人
由于在生產(chǎn)和質(zhì)量流程中對(duì)多軸機(jī)器人以及精密機(jī)器人的需求正在增長，因此行業(yè)正在尋找新型的機(jī)器人技術(shù)。PI為這些任務(wù)提供了并聯(lián)運(yùn)動(dòng)六足架。六軸機(jī)器人可以在任何空間方向上高精度地移動(dòng)重量從幾公斤到幾噸的工具，工件甚復(fù)雜的組件，而與安裝方向無關(guān)。由于六腳架可以通過現(xiàn)場總線接口直接與PLC或CNC控制器通信，因此用戶可以輕松地將定位系統(tǒng)集成到自動(dòng)化環(huán)境中。

德PI六腳架產(chǎn)品介紹，自20世紀(jì)初以來，汽車工業(yè)直在利用并行運(yùn)動(dòng)學(xué)來測(cè)試汽車輪胎。系統(tǒng)供應(yīng)商今天也使用此技術(shù)。除其他外，它們將六腳架集成到坐標(biāo)測(cè)量機(jī)中以校準(zhǔn)前照燈，從而滿足對(duì)精度的高要求。六足機(jī)器人也可以與工業(yè)機(jī)器人起在生產(chǎn)線上使用，以補(bǔ)償機(jī)械臂的誤差。